377.造不如买——中夏光刻机夭折始末（下）（2.6合1）

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“徐教授，你们的光刻机明明做得很成功，为什么项目突然终止呢了？”

听到张思明的追问，徐端颐欲言又止。

他看了看王院长，王院长点头说道：“没事，张总不算外人。”

徐端颐又叹了口气，解释道：

“今年3月，国家召开第一届‘全国工业企业技术进步成就展览会’，我们的光刻机被选在主展览厅对外展示。

这本来是一件大好事，参加的不仅是企业、媒体记者，还有许多国内外的权威专家，展览会的消息都上了《中夏日报》，好多电视台也报了。

我们团队得知这个消息后，所有人都十分高兴，我们都以为中夏的光刻机即将走向世界，总算是能够让其他国家看到中夏的成果。

展览会开幕后，我接到了上面的电话，说有个重量级的外国代表团要来参观，必须要我亲自接待。

我到场以后，王首武先生陪同一个外国代表团来到我们的展位参观，随行的还有很多记者。

我一开始不知道那些外国人是什么身份，我也不敢多问，就是陪在一边，人家问我什么，我就回答什么。

那些外国人对我们的光刻机很感兴趣，看得非常仔细，一开口问的就是很专业的技术问题，我这才知道，他们都是丑国和倭国的光刻机专家。

那些丑国人和倭国人围着我们的光刻机看来看去，有些人还趴在地上看里面的结构，甚至还想把外壳拆开看看，我们虽然觉得有点不太好，但中夏被孤立得太久了，我们非常迫切地希望得到国际上的认可，所以对他们的各种行为都没有阻止。

不仅如此，如果他们问到我们机器的设计理念、工作原理，甚至是构造上的细节，我们也都毫无保留地解答了。”

听到这里，张思明忍不住说道：

“徐教授，可不能这么做呀！

我们赵总经常搞发明，搞出来的第一件事就是申请全球专利，他特别注重知识产权和智慧成果保护。

要我说，你们的设备最多就是给别人展示一下功能就行了，内部的结构、采用的技术都是知识产权，是需要保密的！”

徐端颐苦笑着说道：

“中夏的知识产权保护意识薄弱，我们又都是在学校里搞了一辈子技术的书呆子，哪里懂什么‘知识产权’，也不知道保密。

我现在能知道‘知识产权’，还是出事以后专门去查的资料，之前从来没有了解过这方面。”

张思明急道：“所以是咱的光刻机被人仿造了？”

“倒不是这个原因，虽然咱们这款光刻机只有为数不多的国家可以造出来，但是丑国和倭国还是已经掌握了这个技术的。

几十年来，光刻机都不能出口到中夏。

我们研究光刻机，没有任何途径获得外国资料，也没有外国专家帮助，一切都只能靠我们自己。

没有外国专家帮助，所有的科学研究只能靠我们自己。

所以，当丑国和倭国专家看到我们已经研发出第三代自动对准分步投影光刻机时，他们是非常惊讶的，他们完全没有想到中夏能造出自己的光刻机。

（这里的第三代只是中夏的第三代，单纯指的是‘自动对准分步投影光刻机’的第三代，不是世界的第三代光刻机。

世界第一代：g线光刻机-目前霓康、嘉能的水平

世界第二代：线光刻机-目前al的水平

世界第三代：dv光刻机）

在丑、倭专家离开之后，还有很多其他国家的专家也过来考察。

来的人很多，我留意过，几乎国际上所有叫得上名号的厂家都来人了。

在展会上，大家谈得都很开心，外国人对我们的光刻机是十分肯定的，很多专家对我们的研究成果非常佩服。

没想到，他们是当面一套，背后一套。

展会结束不久，国际上便传来消息，限制突然被取消了，中夏的单位可以进口分布投影光刻机了。

丑国和倭国厂商有钱的很，他们的设备卖得便宜，还有福利，只要是中夏的企业购买光刻机，领导就可以出国参观考察，顺带旅游，厂商承担领导来回的机票、住宿和一切花费。

买进口设备便宜不说，还能出国开开眼界，你说这谁能顶得住？

所以，人家要取消订单、改买进口设备也是情有可原，我也不能怪人家，谁家的钱都不是大风刮来的。

只是，我们的订单都被取消了，没了国内单位的订单，我们的光刻机也就没了市场，这还没有正式投产就夭折了。

可惜我们研究了这么多年，统共就生产了三台，唉。”

张思明听了徐端颐和他项目的经历，也颇觉内心不是滋味，他随问道：

“徐教授，要是你们有条件继续研究下去的话，有没有希望能研发出最先进的光刻机？”

徐端颐沉吟片刻，谨慎地回答：

“虽然我们的光刻机与倭国霓康、嘉能这些大厂商的g线光刻机还有着一定的差距，但这个差距并非不可逾越的天堑。

我相信，只要给我们时间和经费，我们一定能追上。

只是，我们一直在国内，没有什么机会到外面去学习交流，也不知道现在的国际最高水准是什么样子，有没有厂商做出了线设备。

单是这样闭门造车，不知道外面的世界多么广阔，实在是不敢妄言一定能做到最先进的水平。

不过，我可以保证的是，我们团队的研发能力和学习能力是很强的，我们不怕吃苦，特别能克服困难。

我们团队研究光刻机的条件很艰苦，完全是从零开始，当时国内没有任何研发光刻机的经验给我们借鉴，成员们也都没做过光刻机，都是凭着各自专业内的知识和经验，一边学，一边干。

我们都是拿着死工资，没有一分钱的奖金，也没有加班费，但所有成员都有很强的奉献精神，主动加班加点，没日没夜地苦干。

除了缺乏技术和经验，我们还缺设备。

可以说，用来造光刻机的高端设备和精密仪器，我们都没有，外国全都不卖给我们，国内也不能生产。”

“那怎么办？”

“还能怎么办？我们只能自己设计，再自己制造。”

“啊，我虽然不是很懂技术，但我知道光刻机是一个很复杂的机器，精度很高，用到的设备也很多，像是什么特殊气体啊、激光啊、光学仪器啊之类的，这些都要你们自己造吗？”

“对，我们也是被逼得没办法了。

举几个例子：

为了解决第一代光刻机的‘超高精度测量定位’这个问题，必须采用一种叫作‘工业用数字式激光干涉仪’做平面坐标精密定位控制系统，像这个干涉仪就属于尖端技术产品，国内生产不了，但又非得用不可，我们只能自己制造。

我们先研制这种干涉仪用的可稳频的氦-氖气体激光器，然后一步步地做精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，这些器件都是我们团队成员自己研制的。

我们先画出图纸来，检查好设计没问题后，再一个螺帽、一个螺母地在车间里打样，合格了以后再在学校精密仪器系的工厂规模生产。

在我们做第二代光刻机的时候，当时这种分步投影光刻机在国外也还处于研究阶段。

我们靠着自主研发，独立研究出了气动自动调焦技术、暗场同轴自动对准技术、亚微米级大视场投影光刻物镜设计等一系列技术，这些研究都处于当时的世界先进水平。”

说话间，徐端颐从抽屉里拿出一叠文件，翻到其中一页，一边指给张思明看，一边解释：

“可以说，我们不仅研制了光刻机，还把生产光刻机所用的微细加工专用设备都生产出来了。

像是分步重复照相机、铬版精缩机、图形发生器、电子束曝光机这些，都是成套的集成电路前序加工设备，几乎集中了近代最高的光学微细加工、精密机械、测试、自动控制领域上的技术。

也是因为这个原因，国家在我们学校成立了微细工程研究所，用来研发微细加工技术和专用设备。

微细加工技术不单是能用在集成电路制造上，在信息学、生物学领域也能用得上。